一個(gè)納米位移臺(tái)可以控制的方向數(shù)（自由度，Degrees of Freedom, DOF）取決于其設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和應(yīng)用需求。常見控制方向如下：
1 個(gè)方向（單軸納米位移臺(tái)）
控制軸向：通常是 X、Y 或 Z 其中一個(gè)方向。
應(yīng)用：?jiǎn)畏较驋呙?、?jiǎn)單位移、對(duì)焦等。
2 個(gè)方向（雙軸納米位移臺(tái)）
控制平面：常見為 XY、XZ 或 YZ 兩個(gè)方向的平面控制。
應(yīng)用：表面掃描、平面對(duì)準(zhǔn)、探針定位等。
3 個(gè)方向（三軸納米位移臺(tái)）
控制三維空間：X、Y、Z 三個(gè)正交方向。
應(yīng)用：三維對(duì)準(zhǔn)、納米裝配、激光聚焦定位等。
多自由度（≥4軸）
例子：
6軸平臺(tái)（X、Y、Z 平移 + α、β、γ 旋轉(zhuǎn)）
Tip/Tilt/Z 平臺(tái)（Z軸 + 兩個(gè)角度傾斜）
應(yīng)用：復(fù)雜微組裝、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、干涉儀、半導(dǎo)體封裝中的晶圓級(jí)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)等。
補(bǔ)充說明：
模塊組合：許多高精度系統(tǒng)將多個(gè)單軸或雙軸位移臺(tái)疊加或組合，構(gòu)建出多軸系統(tǒng)。
同步控制：多軸平臺(tái)通常搭配閉環(huán)反饋（如電容傳感器、光柵尺）和高性能控制器，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)同步控制。