安裝納米位移臺(tái)時(shí)，對(duì)平臺(tái)的水平度有一定要求，這是為了保證其高精度定位性能和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。以下是常見的要求和建議：
一、平臺(tái)水平度的基本要求
水平度誤差建議小于 0.1 mm/m（或0.01°）
對(duì)于高精度納米位移系統(tǒng)，平臺(tái)表面應(yīng)盡量保持水平，以避免：
重力對(duì)運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生橫向分量，影響精度；
造成負(fù)載不均，影響傳動(dòng)系統(tǒng)的受力；
在閉環(huán)控制系統(tǒng)中引入誤差。
精密應(yīng)用建議更嚴(yán) 如果使用的是壓電型或電容反饋閉環(huán)控制的納米位移臺(tái)，建議平臺(tái)水平度達(dá)到：
≤ 0.05 mm/m 或 ≤ 0.003°（大約10角秒）
二、水平度的重要性體現(xiàn)在哪些方面？
重復(fù)定位精度：傾斜會(huì)引入慣性變化，影響位移重復(fù)性；
負(fù)載均衡：重力偏移可能導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)一邊受力大，磨損不均；
反饋誤差：傳感器測(cè)量方向與實(shí)際運(yùn)動(dòng)方向不一致時(shí)，誤差增大；
校準(zhǔn)基準(zhǔn)一致性：水平不準(zhǔn)會(huì)影響與光學(xué)器件、探針、樣品臺(tái)等的對(duì)準(zhǔn)；
三、怎么確保平臺(tái)水平？
使用高精度電子水平儀或光學(xué)水平儀；
安裝前可在平臺(tái)表面墊高精密調(diào)整墊片；
使用三點(diǎn)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)進(jìn)行初調(diào)；
對(duì)于長(zhǎng)期使用環(huán)境，應(yīng)定期檢查并調(diào)整水平狀態(tài)，尤其是在溫濕度波動(dòng)大的場(chǎng)所。
四、是否絕對(duì)要求“完全水平”？
不是“完全”水平，但需要控制在設(shè)備說明書的誤差范圍內(nèi)，尤其是：
行程越大、負(fù)載越重、精度越高的納米位移臺(tái)，對(duì)水平度越敏感；
某些Z軸或傾斜補(bǔ)償位移臺(tái)可能可以容忍一定傾斜，但仍建議校正。